四甲基氢氧化铵属于第8.2类危险品，即碱性腐蚀品。

四甲基氢氧化铵（TMAH）为无色结晶（常含三、五等结晶水），具有类似胺类气味，熔点68-71℃，极易溶于水，溶解时放热，水溶液呈强碱性，有滑腻感。极易吸潮，在空气中能迅速吸收二氧化碳，130℃时分解为甲醇和三甲胺，通常使用有10％、25％水（或醇）溶液和含结晶水化合物。

它具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定。超过分解点时迅速分解为三甲胺和甲醇。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”。四甲基氢氧化铵有一定的氨气味，具有强碱性，在有机硅方面，作为二甲基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。