中微公司以刻蚀设备与 MOCVD 设备为核心业务，同时拓展其 他泛半导体关键设备。公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销 售，主营业务包括以下几类：

1）刻蚀设备

2）MOCVD 设备。

3）其他设备，即 VOC 设备。

4）备品备件及设备维护。