中中微半导体设备(上海)股份有限公司，是一家中外合资企业。

中微半导体设备(上海)股份有限公司成立于2004年5月31日，总部位于.上海市浦东新区

。中微半导体设备(上海)股份有限公司主要从事集成电路、LED芯片等微观器件的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。